S48 W/HMT气体流量计，气体质量流量控制器

编号 项目 S48?W/HMT 1 流量规格 ***小10mL/min; ***大50L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2%～100% 6 准确度 ±1.0%?S.P.(≥30%?F.S.) ±0.30%?F.S.(＜30%?F.S.) ? 7 线性 ±0.5%F.S. ? 8 重复精度 ±0.2%F.S. ? 9 工作压差范围 (0.05~0.3)MPa(<10L/min); (0.1~0.3)MPa(10~50)L/min 10 耐压 3MPa?????????? 11 工作环境温度 5℃~45℃ 12 精度保证温度 15℃~35℃ 13 接触气体材料? 316L,Viton?,PTFE,或其他 14 漏率 ＜1×10-8Pa·m3/s 15 接头 Swagelok:Φ6mm,1/4″ VCR:1/4″或其他 16 输入信号 数字l:RS485 17 输出信号 数字l:RS485 18 通讯接口 数字:RS485 波特率:4800/9600/19200Bps Modbus?RTU协议从机Protocol?slave 设备号可选范围Selectable?range?of?the?device?number0~15 19 供电电源 ±15V(±2%) (＋15V,100mA;－15V?,200mA) ?

企业名片