S49 32热式质量流量计，北京流量计厂家，气体流

? 1.?特点及主要应用领域气体质量流量控制器（流量计）Mass?gas?flow?controller（meter）缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。 S49?32/MT?质量流量控制器(流量计)特点： ☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。 ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。 ☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。 ☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 ☆配合MT-60?系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。 S49?32/MT?质量流量控制器(流量计)主要应用领域： 半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等。 2.?S49系列质量流量控制器(流量计)型号 S49?32/MT?系列质量流量控制器(流量计)，S49为质量流量控制器(流量计)产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。 质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量； 质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能。 型式批准证书：2011F215-11 执行Q/CYHMT001-2011企业标准 许可证编号：京制01050063号 3.主要技术指标 质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准) L/min?（升/分钟）。??(SLM行业标准) 标准状态为：温度----273.15K（0℃）； ????????????气压----101325Pa(760mmHg) F.S(Full?Scale):表示满量程值 表1?S49?32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标 编号 项目 S49?32/MT 1 流量规格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 准确度 ±1.5%F.S 5 线性 ±1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 ≤8秒（T95） 8 工作压差范围 （50～300）kPa;???（100～300）kPa(10L/min) 9 耐压 3MPa;???????????10MPa 10 工作环境温度 （5～45）℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton?，????EPDM，??或其他由用户指定 13 漏率 1×10-8Pa.m3/s 14 接头 Φ6mm～Φ10mm,?1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 15 输入输出信号 （0～＋5.00）V?(输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) 16 供电电源 ±15V（±5%）（＋15V??50mA,??－15V??200mA） 17 外形尺寸mm 130（宽）×102（高）×28（厚）? 18 重量kg 0．8

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