S49 31气体流量控制器，质量流量控制器厂家

主要技术指标 质量流量计和质量流量控制器流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为：标准状态mL/min?（毫升/分钟）???（SCCM行业标准）； ????????????????标准状态L/min???（升/分钟）（SLM行业标准）。 标准状态为：温度----0℃； ????????????气压----101325Pa F.S(Full?Scale):表示满量程值 ? 表1?S49?31/MT流量控制器、S49?31A/MT流量计技术指标 编号 项目 S49?31/MT S49?31A/MT 1 流量规格 (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 ? 3 调节阀静止状态 常闭 ? 4 准确度 ±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2%?F.S) 5 线性 ±1.0%F.S，±1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 (3～4)s 8 工作压差范围 (0.05～0.3)MPa;???????????(0.1～0.3)MPa(10～30)L/min 9 耐压 3MPa;???????????10MPa 10 工作环境温度 5℃～45℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton?，????EPDM，??或其他由用户指定 13 漏率 1×10-9atm.mL/s?(He) 14 接头 Ф3mm～Ф10mm,?1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm??或其他 15 输入输出信号 0V～＋5.00V?(输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) 16 供电电源 ±15V（±2%）（＋15V??50mA,??－15V??200mA） 17 外形尺寸mm 134×134×38 18 重量kg 1.0

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