FSF-400/3600型复合分子泵

 型号 FSF-400/3600 抽气速率（l/s） 3600L/S 压缩比N???2 >10???8 压缩比H???2 >5×102 极限压强(Pa) <2×10-6 高真空法兰 400ISO-K 排气口法兰 100ISO-K 启动加速时（min） <10min 电机转速（n/min） 12600n/min *小不平衡（mg） 15mg 建议采用前级泵 机械泵30L/S 充油量（ml） / 安装方式 垂直±5° 冷却方式 水冷 冷却水温度 <20℃ 环境使用温度（℃） 水冷<40℃ 泵体烘烤温度（℃） <100℃ 泵重量（kg） 100kg 外形尺寸（mm） Φ430×490

企业名片