FSF-150/600型复合分子泵

型号 FSF-150/600 抽气速率（l/s） 600L/S 压缩比N2 >109 压缩比H2 >8×103 极限压强(Pa) <2×10-8 <1×10-7 高真空法兰 LF150 CF150 排气口法兰 KF40 启动加速时（min） <5min 电机转速（n/min） 24000n/min *小不平衡（mg） 15mg 建议采用前级泵 机械泵4～8L/S 充油量（ml） / 安装方式 垂直±5° 冷却方式 水冷或风冷 冷却水温度 <20℃ 环境使用温度（℃） 风冷<32℃ 水冷<40℃ 泵体烘烤温度（℃） <100℃ 泵重量（kg） 30kg 外形尺寸（mm） Φ280×416

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