FSF-200/1200型复合分子泵

型号  FSF-200/1200 抽气速率（l/s）  1200L/S 压缩比N2  >109 压缩比H2  >8×104 极限压强(Pa)  <2×10-8  <1×10-7 高真空法兰  LF200  CF200 排气口法兰  KF40 启动加速时（min）  <5min 电机转速（n/min）  24000n/min *小不平衡（mg）  15mg 建议采用前级泵  机械泵8～15L/S 充油量（ml）  / 安装方式  垂直±5° 冷却方式  水冷或风冷 冷却水温度  <20℃ 环境使用温度（℃）  风冷<32℃ 水冷<40℃ 泵体烘烤温度（℃）  <100℃ 泵重量（kg）  36kg 外形尺寸（mm）  Φ320×428

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