OF系列在线式专用气体过滤器专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等
主营业务:烧结滤芯,不锈钢滤芯,木业工具过滤元件,... [详细]
联系人:黄生
经营性质: 设备供应商
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