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DF系列扩散器专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气
体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L
不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹
起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。
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