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  • 真空等离子设备 防雾等离表面活化设备
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详情介绍

一、产品介绍

2.1 产品概述

MKS-VAC100 真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

2.2 产品优势

v 产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品。

v 水平电极设计,可满足软性产品处理需求。

v 低耗能、耗气产品。

v 便捷的收放板方式。

v 真空系统集成,占地面积小。

v 合理的等离子反应空间,使处理更均匀。

v 集成的控制系统设计,使操作更方便。


真空等离子主机
设备尺寸 L900×W1150×H1900mm
重量 500Kg
需求电源 AC380V,50/60Hz,5线,25A(总空开选型为C型以上)
等离子发生器规格
电源功率 射频 ?中频
0~600W 0-1000W
电源频率 13.56MHz 40?KHz
真空系统 ?
真空泵 鲍斯双级旋片泵(油泵):60m3/h
真空管路 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管
材质 铝合金
厚度 25mm
密封性 军工级焊接密封
腔体内部尺寸 450×450×525mm(宽×高×深)
电极板有效尺寸 400×410mm(宽×深)
可用空间间距 28mm
电极板布置方式 水平电极板
工作托盘 标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网)
工作空间 8层
工艺气体
流量范围 0~300SCCM
工艺气体气路 标配两路,可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质
控制系统
系统控制 PLC
交互方式 7寸触控屏幕

企业名片

深圳市铭凯盛电子设备有限公司

 

 

 

深圳市铭凯盛电子设备有限公司

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主营业务:深圳市铭凯盛电子设备有限公司主要产品有:... [详细]

联系人:陈辉辉

经营性质: 设备供应商

所在地:广东 深圳市 

公司介绍

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