一、产品介绍
2.1 产品概述
MKS-VAC100 真空等离子清洗机(Plasma cleaner),气体通过激励电源离化成等离子态,等离子体作用于产品表面,清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2.2 产品优势
v 产品放置治具灵活多变,可适应不规则的产品。
v 水平电极设计,可满足软性产品处理需求。
v 低耗能、耗气产品。
v 便捷的收放板方式。
v 真空系统集成,占地面积小。
v 合理的等离子反应空间,使处理更均匀。
v 集成的控制系统设计,使操作更方便。
真空等离子主机 | ||
设备尺寸 | L900×W1150×H1900mm | |
重量 | 500Kg | |
需求电源 | AC380V,50/60Hz,5线,25A(总空开选型为C型以上) | |
等离子发生器规格 | ||
电源功率 | 射频 | ?中频 |
0~600W | 0-1000W | |
电源频率 | 13.56MHz | 40?KHz |
真空系统 | ? | |
真空泵 | 鲍斯双级旋片泵(油泵):60m3/h | |
真空管路 | 全不锈钢管路,以及高强度真空波纹管 | |
材质 | 铝合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 军工级焊接密封 | |
腔体内部尺寸 | 450×450×525mm(宽×高×深) | |
电极板有效尺寸 | 400×410mm(宽×深) | |
可用空间间距 | 28mm | |
电极板布置方式 | 水平电极板 | |
工作托盘 | 标配一套,材质可选配(铝材、钢丝网) | |
工作空间 | 8层 | |
工艺气体 | ||
流量范围 | 0~300SCCM | |
工艺气体气路 | 标配两路,可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 | |
控制系统 | ||
系统控制 | PLC | |
交互方式 | 7寸触控屏幕 |