温度控制
费用因素变量:-0.0321至 0.15
温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差,从而影响生产过程的可重复性,*终导致产品合格率降低、增加浪费。因此,洁净室对温度严格控制要求是显而易见的,这项费用是必须的。
通常情况下,要求工程师在设计时降低施工费用,同时要求在很大区域内对温度进行精确的控制,允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间(例如使用卷帘门的仓库)。在没有硬墙和气闸装置时,这将是十分苛刻的要求,并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的,并且很容易维持,但需要仔细的评估这些项目的误差范围。
如果对洁净室内的暖通、动力专业装置和控制系统有严格要求,例如洁净室的温度控制要求为正负0.1华氏度所用花费,可能比基准点为70华氏度,±2.0度(即标准要求68到72华氏度)的高出20%到50%。
在每个洁净室区域内,有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作,来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置,局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。