简介:
美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造,是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。公司始终致力于微观表面“三维”检测技术和设备的研发及推广,历经近十年努力,已为30多个国家提供NanoMap系列三维表面形貌测量系统。
NanoMap-LS三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代。
特点:
1. 全自动软件控制
2. 0.1到100 mg接触力
3. 垂直分辨率可达0.1nm 。
4. 每次扫描*少1 0 0点,*多可达1 5 0 ,0 0 0数据点
5. 一体化彩色摄像机在扫描同时可直接观察样品
6. 简单一键操作与用户友好的操作界面
应用领域:
测量表面可以覆盖多种材料表面:金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,对于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高,稳定性好。热噪声是同类产品*低的。
主要技术参数
垂直分辨率: 0.1nm
重复性: 0.54 nm(1Sigema @1um)
垂直范围: 524um(1mm可选)
扫描范围: 150mm x 150mm
地址:北京市海淀区清河三街 95 号同源大厦929 室,100085
电话:010-62961582,82718430
传真:010-82718430
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