纳米定位平台

型号

XP-611.XYZS

XP-611.XYZO

单位

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

开环行程范围

120/轴

120/轴

μm±20%

闭环行程范围

100/轴

-

μm

传感器类型

SGS

-

系统开/闭环分辨率（16位）

4

4

nm

系统开/闭环分辨率（24位）

0.2/2

0.2/-

nm

系统闭环线性度

0.1

0.1

%

系统重复定位精度

30

30

nm

运动方向刚度

0.3/0.3/0.4

0.3/0.3/0.4

N/μm

*大承载

+2/-0.5

+2/-0.5

㎏

静电容量

1.8/轴

1.8/轴

μF±20%

空载响应频率

350/220/250

350/220/250

Hz±20%

工作温度

-20~80

-20~80

℃

电压连接器

VL

VL

传感连接器

L

L

重量

400

400

g±5%

材质

S/Al

S/Al