压电物镜驱动器

应用：
扫描干涉
表面结构分析
光盘驱动测试
自动聚焦系统
聚焦微扫系统
生物科技
半导体测试设备

压电物镜驱动器P72是高速压电驱动微扫纳米聚焦/扫描装置，定位和扫描范围大约为110μm，纳米级分辨率以及非常高的线性度。应用主要为表面度量以及微扫描。这种无摩擦柔性铰链导向系统提供了超强的精度以及很高的聚焦能力，快速响应，快速稳定，快速扫描。

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