VAKIA-ILC-D连续式汽车反光镜磁控溅射镀膜

VAKIA-ILC-D系列连续式汽车反光镜磁控溅射镀膜生产线

总体设计如下：进口室、进口缓冲室、进口传送室、溅射镀膜室、出口传送室、出口缓冲室、出口室。每个溅射镀膜室*多可以同时安装四个阴极；高真空室采用插板阀隔离，通过改变气氛隔离效果可以实现各种汽车反光镜膜。

生产线特点：

（1）       设备类型：立式连续磁控溅射镀膜线

（2）       膜层均匀性：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤ 5%

（3）       阴极结构设计：采用中频孪生旋转阴极，靶规格视产品而定

（4）       传动模式：采用小车传动方式。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节

（5）       镀膜温度控制：可按客户要求采用不同加热方式，控温稳定度为

（6）       控制系统：采用组态软件与PLC的结合模式，实现人机对话，对生产过程能进行必要的及时干预。运行过程中有报警提示和故障显示。

技术参数：

（1）       极限真空：6×10-4Pa

（2）       平均生产周期：80~180秒/架

（3）       基片架尺寸：根据要求定做

（4）       膜层均匀性：

企业名片