STP磁悬浮分子泵
概述Edwards STP系列磁悬浮涡轮分子泵 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,*大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
此STP 泵在供货时带有入口筛网。
如需完整安装,请订购一台STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。
应用· 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
· 电子回旋共振(ECR) 刻蚀
· 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 溅射
· 离子注入源,射束线泵送端点站
· MBE
· 扩散
· 光致抗蚀剂脱模
· 晶体/晶膜生长
· 晶片检查
· 负载锁真空腔
· 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
· 高能物理:射束线、加速器
· 放射线应用:融合系统、回旋
功能和优势先进的转子技术
· *大的制程灵活性
· 无油
· 低振动
· 高度可靠
· 免维护
先进的控制器设计
· 自动调整
· 自行诊断功能
· 直流电机驱动
· 无电池运行
紧凑型设计
· 占地面积小
· 半机架控制器