EXT涡轮分子泵

EXT涡轮分子泵

概述EXT75DX /EXT556H复合涡轮分子泵将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上24V 控制器结合在了一起，不需要TIC 控制器即可兼容并行和串行通信。

功能和优势· 高临界前级压力

· 大容量流速

· 快速抽气性能

· 多级 Holweck 分子牵引机制为轻气体提供了高压缩量

· 极限真空 <10-10 mbar

· 经验证的 EXT 性能和可靠性

· 混合轴承配置

· 免维护 – 储油器永久密封

· 机加工整体转子

· 直流电机驱动

企业名片