膜厚测试仪

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膜厚测试仪可测元素范围：铝(AL) –铀(U)。

可测量厚度范围：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。

自动测量功能：编程测量，自定测量修正，测量功能。

底材修正：已知样品修正。

定性分析功能：光谱表示，光谱比较。

定量分析功能：合金成份，分析数据。

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