SIMCO-ION 5645MP离子棒

      采用 Simco-Ion 调制脉冲 (MP) 技术的离子棒现在可通过 Novx 监测和反馈系统提供主动反馈和控制。型号 5645 AeroBar 提供行业领先的平衡电离性能，设计用于半导体制程应用、特别是包括 3D 技术的先进封装应用，符合快速消散静电而低摆幅的平衡电压的要求。专利的调制脉冲技术，让 AeroBar离子棒 可放置在近至距晶圆 150 mm 的位置，近距离控制对微细的技术.节点至关重要。精细调整结合超洁净的 SCSi 静电针，5645 MP 棒的洁净度能超越 ISO 14644-1Class 1，符合适用小于 10 nm 微粒的延伸 ISO Class 1 水平。

     型号 5645 离子棒与 Novx 监测和反馈系统连接安装，可以维持 ±5V 以内的平衡电压。离子棒能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。处于层流风较弱的制程，可选吹气辅助功能以能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。型号 5645 AeroBar 有 14 种长度 从 350 mm 至 2,350 mm 可选。

   为实现 ±5V 平衡电压效能，型号 5645 可配备 Novx 系统或Novx Inside。这两种配置方案都使用 Novx 检测并自动较正平衡电压。当传感器放置在目标区域时，反馈传送至 型号 5645AeroBar 的内部控制系统，以确保目标始终保持 ±5V 以内的平衡电压。

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