镀膜仪

MSP-IS镀金机镀膜仪是为SEM的样品制备而设计的专用喷金仪，为样品表面喷金属镀层。  

工作原理:  

采用了一个平板控制电极，通过低电压放电进行磁控溅射的喷镀。  

MSP-IS镀金机镀膜仪产品优势:  

●起弧电压低有效减弱样品受到的离子损伤和热损伤。  

●可移动式样品台:工作时，样品温升小，能有效防止由于离子溅射而产生的样品变形。  

●内置真空泵，一体式设计  

●MSP-IS是-一台只要启动“EVAC"按钮，就可以全自动完成喷涂的设备。  

操作方法:  

将样品放入样品室，根据镀层厚度需求设置喷镀时间，按下启动按钮后，从预抽气到喷镀整个过程都将自动进行，喷镀结束后旋转泵自动终止，样品室内充入空气后即可取出样品  

技术参数  

真空系统:抽速20L/min,旋转泵可抽到2Pa  

样品室真空度:在溅射时的真空度保持6-8Pa  

靶和样品的距离:标准25mm,也可以调整辅助平台，增大距离至35mm  

样品室尺寸:高65mm,直径120mm,由耐热玻璃制成  

靶材尺寸:直径55mm  

靶材种类:标配金.钯，可选配金、铂、金.钯合金、铂  

样品台:直径50mm。与阳极分离的可移动式样品台  

设备尺寸:长200mmX宽340mmX高350mm。重量:14Kg  

电源:100V单相交流电，电流为10A  

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