等离子表面清洗 低温等离子主机 旋转式低温等离子处

等离子输出设备参数输入电压220V±10%，3线输入电源频率50/60Hz输入工作电流Max 8A输入气体AIR（CDA），N2，CO2输入气压0.25~0.5MPa输入气体流量25-80LPM等离子功率500/1000/1200W频率15-25KHz喷头类型旋转等离子清洁高度5-20mm等离子有效处理幅宽20-100MM喷头数量1/2外部控制方式I/O检测警报保护功能气压保护，过流保护，欠流保护，高温保护使用温度范围-10℃~+50℃相对湿度20%<使用温度<93%（不结露）等离子体输温渡40~50℃

三·等离子清洗原理（Principle）1、等离子清洗的原理：对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，达到对材料表面清洗、蚀刻、活化等效果。 （1） 对材料表面的刻蚀作用--物理作用：等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除     了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了     样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（2） 激活键能--交联作用：等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。（3） 形成新的官能团--化学作用：如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

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