派克液体流量控制器parker快速响应液体流量控制

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王嘉

派克液体流量控制器parker快速响应液体流量控制器

<秒1响应时间>读数精度的1%压电控制阀.金属密封结构

8226;紧凑型尺寸1/8“面密封或压缩配件波特D2000i系列液体质量流量控制器的地址

半导体制造中液体前体的快速精确控制的必要性过程，以及生物技术、制药中的各种应用，

化工、石化和表面处理工业。闭环数字控制电路与积分比例压电驱动相结合

控制阀，提供不到1秒的响应时间和稳定的控制在低。洁净室总成和所有金属密封结构确保高纯度和泄漏完整性。一个独特的层流旁路和传感器组件提供准确的

流体温度仅上升5°c的测量。紧凑的封装尺寸该D2000i系列简化系统集成。一个D2000i系列液体质量流量计只适用于需要流量监控的应用程序。

规格

响应时间：＜1秒至5%以内

速率（*多6个储存阀跳变电压）

准确度和线性度：读数的1%

重复性：在任何情况下，速率为0.2%。

在恒定的温度

操作温度范围

可调范围（控制范围）：20:1

（5% - 100%满刻度）（精度和控制）环境温度和工作温度

范围：- 10至40°C（+ 14至104°F）

*大允许工作压力：125

psig

温度系数：＜0.1%°C

设定输入流量信号输出：0-5

VDC（2K欧姆*低负载电阻）

流量输出信号）

电源要求：（电流消耗小于200

MADC）：+ 15（10%）VDC

泄漏完整性：1×10- 9ATM。CC / sec.he

热身时间：20分钟

建筑材料—

（湿表面）：车身- 316L不锈钢

传感器总成- 316L不锈钢

阀门组件- 316L不锈钢

O型环- 316L不锈钢

企业名片