FS4003/FS4008气体流量传感器

?FS4000系列质量传感器 ? 产品概述: FS4000是美国矽翔微机电系统有限公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等） FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围***大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。 FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围***大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等 产品特点: ???- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计 ??- 支持多种连接方式，易于安装与使用 ??? - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量 ??? - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高 ??? - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压 ??? - 零点稳定度高 ??? - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 ??? - 低功耗、低压损 ??? - 响应速度快? 机械尺寸: 产品特点: 性能参数 FS4003 FS4008 单位 通 径 3 8 mm ***大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 量程比 ≥100:1 ? 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重复性 0.25 % 零点输出飘移 ±30 mV 输出飘移 ±0.12 %/℃ 响应时间 10（默认，50，100，200，500，1000可设置） msec 工作电源 8~18Vdc,50mA ? 输出方式 线性，RS232/RS485,模拟电压0.5~4.5Vdc ? ***大流量压损 100 600 Pa ***大工作压力 0.5 MPa 工作温度 -10 ~ + 55 ℃ 存储温度 -20 ~ + 65 ℃ 工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露） ? 机械接口 BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接头 ? 校准方式 空气（或其他气体），20℃，101.325kPa ? 重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口） 71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) g 输出方式为传感器的标准输出方式，用户可根据不同需求选择RS232或RS485输出。 电子资料下载：FS4000质量流量传感器.pdf

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