ES-CMM三坐标测量机

一、ES-CMM 866主机                                                     1台

测量范围：600mm Y：800mm Z：600mm

结构类型：移动桥式

分辨率：0.5μm

示值精度：E3 = (3.0 + L/300) μm    (L单位:mm)

探测精度：R = 3.5μm

机台承重：300kg

整机重量：730kg

整机尺寸：1735 mm X 1150 mm X 2647mm

驱动系统：直流伺服系统

传动方式：柔性同步带

操作方式：计算机自动控制+微电脑操纵盒

示值系统：英国雷尼绍Renishaw镀金光栅尺

工作机台：高精度花岗岩平台(00级)

导轨型式：高精度导轨＋预载荷高精度空气轴承

气源处理：日本SMC

- 主机设计采用单边移动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量精度及稳定性。且结构简单、紧凑，刚度好，具有较开阔的空间。工件安装在固定的工件台上，承载能力较强，工件质量对测量机的动态性能没有影响。

- 工作台用天然花岗石制造。花岗石变形小、稳定性好、不生锈，易于作平面加工，能达到比铸铁更高的平面度，适合制作高精度的平台与导轨，使主机具有良好的温度特性和抗时效变形能力，保证测量过程中良好的稳定性及刚性。花岗石的热膨胀系数小，很适合作为气浮导轨与气浮块配合，保证运动件的定位及运动精度。

- X向横梁采用超高刚性精密三角梁(Tricision 174;)技术，通过减轻运动负荷从而提高了整机的性能，是保证稳定性和刚性的***佳结构设计；该领先技术受到专利保护。Y轴采用获得专利的整体燕尾型导轨，提高了测量机的精度和重复性。

- X轴、Z轴采用进口高精密、高稳定性航空用铝，降低测量机高速运行时的惯性，保证测量过程中良好的稳定性及刚性，提高测量速度、精度及效率。

- 桥架、Z轴支架和外壳均采用超轻材质，大幅降低了移动框架整体的重量，显著提高了系统的运动性能，确保了测量精度及稳定性。

- 三轴均采用高精度高气膜刚性的自洁式预载荷高精度空气轴承，使运动更平稳，精度更高，且导轨永不磨损。

- 三轴均采用英国雷尼绍Renishaw镀金光栅尺，其热膨胀系数获得PTB认证，能与大多被测物的线膨胀系数接近一致，从而提高设备的测量精度和稳定性。弹性安装方式，一端刚性固定，一端自由膨涨，使光栅可实现线性变化，真正做到温度补偿；不易碰碎，使用寿命长。

- 三轴均采用大功率驱动器、电机及新型双级带减速器和先进的柔性同步带传动，结构紧凑、无间隙、不打滑、高刚性、速度快、噪音低、易维护，确保传动准确、迅速。

- 高精度橡胶质同步带，内置钢丝，兼顾柔性啮合与刚性轴向传动特性为一身，减少了振动，确保精确到位，并消除了高速运动情况下的抖动

- 电机远程放置减少了移动质量，提高了速度，也避免了电机发热对机器性能的影响。

- Z轴采用可调气动平衡，运动平稳。Z轴具有防坠落自保护装置，测量过程中，可在紧急情况下快速切断气浮轴承供气，自动制动，避免Z轴自行坠落撞坏测头，保证安全。

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