气体质量流量计

技术指标： ? ? 指标 质量流量计 体积流量计 描述 标准量程 0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM 1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500，4000SLPM 满量程 精度 ±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程） ? 重复性 ±0.2% 满量程 量程比 100:1 测量 响应时间 10 毫秒（可调） 标准状态(STP) 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） 无 仅测量质量流量用 温度范围 -10～50 ℃ 零点漂移 0.02％ 满量程/℃/Atm 量程漂移 0.02％ 满量程/℃/Atm 湿度范围 0-100% 无冷凝 测量流量范围 128％（过流率） 满量程 ***大耐压 145 145* PSIG 输出信号（数字） 质量流量、体积流量、**压力和温度 体积流量 RS-232串口 输出信号（模拟） 质量流量 体积流量 0-5VDC 可选输出信号 第二路模拟输出 质量流量、体积流量、**压力或温度 体积流量 0-5VDC,0-10VDC或4-20mA 电气连接 8针 小型圆插头 供电电压 7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC） ? 供电电流 0.035A（4-20mA输出时为：0.055A） ? 安装位置敏感度 0% 安装后须清零 预热时间 ＜1 秒 接液材质 303&302不锈钢，Viton?，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，铝 * 对于体积流量计，若入口压力＞10PSIG时，须同厂家联系。

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