制冷剂R14

北京百寒制冷技术有限公司

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冷媒名称R-14冷媒名称R-14沸点（1atm），℃-128.1破坏臭氧潜能值（ODP）0饱和蒸气压（-150.7℃），kPa13.33全球变暖潜能值(GWP，100 yr)5700临界温度，℃-45.6燃烧不可燃临界压力，MPa3.75ASHRAE安全级别A1（无毒不可燃）主要应用R14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，R14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微电子工业中用量*大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。包装规格钢瓶包装，5kg/瓶，32.8kg/瓶。

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