VS MR15 检漏仪

VS MR15 检漏仪详细说明在较高入口压强1330Pa可开始检漏，方便检测大漏。

2.  真空模式*小可检漏率≤5x10-13 Pam3/s，吸枪模式*小可检漏率≤1x10-8Pam3/s，反应时间小于0.5秒。

3.  油式系统前级泵采用安捷伦公司检漏仪专用双级旋片泵，干式系统VS.PD系列采用前级泵采用IDP-3涡旋式干泵和膜片泵组成的前级泵组。有效防止干泵型检漏仪常见问题，即氦本底偏高。同时，该前级泵组保证对氦气足够的压缩比。IDP涡旋干泵是安捷伦（原瓦里安真空）新一代涡旋式干泵，具有抽速稳定、密封性好、极限真空好、抽除水蒸汽后无酸性成分、维护周期长等一系列优点，IDP-3极低的极限真空度；干式系统VS.BD和VS.MD系列采用安捷伦自产检漏仪专用干式涡旋泵，有效防止干泵型检漏仪常见问题，即氦本底偏高。

4.  分子泵采用高抽速多进气口新型分子泵，对氦的压缩比高，对氦有较大抽速，在不同的检测模式气体流经不同的进气口，保证了对环境气体污染的不敏感性。

5.      独特的逆扩散方式，所抽气体逆扩散至质谱室，避免了所抽气体中水蒸汽和污物对质谱室的污染。

6.      质谱室采用新型高效离子源及束流的优化设计，可实现更好的质谱分离效果。灯丝采用氧化钍涂覆铱灯丝，与钨丝相比，铱丝能工作于很低的温度下，且有很好的抗脆性、抗氧化性、抗水蒸气和碳氢化合物等特性，双灯丝自动切换（其一损坏自动切换到其二）。

产品特点：

主动式油循环

油循环齿轮泵强制润滑，确保全部压力范围内润滑的可靠性和有效性，可以在大气下连续工作。

嵌油防护罩

有效地抑制出气口的油雾，工作中油消耗的减少异常显着，减少对环境的污染

防返油阀和放气装置

该阀在泵停转或闲暇的时候将泵隔离，防止在关泵或供电故障的时候因意外放气而导致泵油污染真空系统

泵体模块定位销

泵体模块使用定位销安装，组装和维护速度更快，避免发生错误

气镇阀

开启该阀可以在第二级泵腔内导入干燥气体，有助于将泵油内的水蒸气和其它冷凝性气体清除

强制风冷

降低真空泵工作温度，尽可能降低油分压，减少返油，防止对真空腔的污染

普适马达

泵马达既可以是单相，也可以是三相，适合于所有的电压和频率规范，工作电压极易选择，灵活度大且便于管理

IEC320 插头规范

可以使用常规供电电缆，不需要打开接线盒对马达连线

具备环保技术的HS系列“智能”泵

应用全新的变频技术实现性能稳定和优化，涵盖世界上所有的供电电压和频率规范，能耗的降低和启动电流的减少使该系列真空泵噪音更低，寿命更长

企业名片