微小气体质量流量计

HFS系列是公司采用世界领先的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环保监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）

   HFS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围*大到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。

   HFS4008流量传感器，测量范围*大到50SLPM。可用于气流测量和控制设备。应用于麻醉设备、洁净气体监控，如：空气采样机，气体分析仪等。

   产品特点:

   - 专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计

   - 卡口式设计为多管路集成测量而设计

   - 快速地响应时间利于精密测量应用

   - 在麻醉机上表现卓越

   - 可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中

   - 内置安全插件可适用于更多的应用

   产品特点:

   通径 3 8 mm

   *大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM

   量程比 >100:1 　

   精 度 ±(1.5+0.2FS) %

   重复性 ±0.75 %

   *大压力 1.0 MPa

   工作温度 -10~55 oC

   湿度 < 95 %HR

   电源 8-24Vdc, 50mA

   输出方式 RS232, I2C, 模拟

   机械接口 NPT, BSPT 或根据需要定制

   校准条件 空气, 20oC, 101.325 kPa

   HFS4003 HFS4008 单位

   通径 3 8 mm

   *大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM

   量程比 >100:1

   精 度 ±(1.5+0.2FS) %

   重复性 ±0.75 %

   *大压力 1.0 MPa

   工作温度 -10~55 oC

   湿度 < 95 %HR

   电源 8-24Vdc, 50mA

   输出方式 RS232, I2C, 模拟

   机械接口 NPT, BSPT 或根据需要定制

   校准条件 空气, 20oC, 101.325 kPa

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