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高纯水设备(去离子水设备)是用纯水机作为原水的基础上，有时候需采用双级反渗透，出水电导率可达到小于5，然后通过混床或者组合既用阳离子树脂罐+阴离子树脂罐+阴阳离子混合树脂罐处理水（大型机组可以使用EDI—电渗析来制取）。它是目前用来制备超纯水、高纯水不可替代的手段之一。其出水电导率可低于1uS/cm以下，出水电阻率达到15MΩ.cm以上，根据不同的水质及使用要求，出水电阻率可控制在1-18MΩ.cm之间。被广泛应用在电子、电力超纯水，化工，电镀超纯水，锅炉补给水及医药用超纯水等工业超纯水，高纯水的制备上。
