(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
规格参数
型号Model typeK-F2AHGK-F2BHGK-F2CHG模组尺寸Module size (mm)1175*1175*2301175*1175*3501175*1175*220风量Air quangtity(m3/h)14002350800机外静压Extemal static pressure505050主体
Main body标准型Standard铝锌合金板Galvanium其它特性
Option不锈钢板Stainless steel(SUS430)电解板Electrolytic sheet亚铅铁板Gal vanized sheet iron铝合金板Alumininum alloy sheet电源
Power supply标准电源
Standard(V/Hz)220V 50/60Hz其它电源
Option(V/Hz)如有其它特殊电源需求请与我们联系!滤网
Filter效率
EfficiencyHEPA Over 99.99% atparticle diameter over 0.3μmULPA Over 99.9995% atparticle diameter over 0.1μm框架Frame铝框Aluminum功耗
Power dissipation(w)12024590重量Weight(kg)254515震动值Shock(m/s2)≦0.4≦1.1≦0.4噪音(L)Noise(db(a))46-5248-5446-52选配品Option压差计(Differential draft gauge)遥控器(Remote congtrol)吸入口法兰(Duct flange for suction air)初效过滤网(Pre-filter)
具有特点深圳FFU厂家
**:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。