CT-W 尾气处理设备
水洗系统
使用点对点废气减排
用于半导体产业的高效废气处理系统
概述:
在处理各种化学气相沉积和蚀刻工艺所排出的废气方面,水洗系统已被证明是有效解决方案。比起常见的水洗系统。centrotherm clean solutions 的水洗系统CT-W具有许多优势。CT-W能够降低废气中99%的粉尘颗粒。经吸附的粉尘颗粒将随着废水排出。
CT-W可以作为独立的系统来安装,亦可在我们的燃烧-水洗系统CT-BW中作为附件模块。CT-W水洗系统可以独立地运作,也可以嵌入CT-BW.例如强酸或粉尘诺要符合德国大气污染物排放标准(TA-Luft),那么额外的水洗阶段是非常必要的。当水洗系统置于CT-BW后时,粉尘的降低率和酸气的吸附率一般超过99.9%。