去离子水
去离子水的用途:
1、制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、单晶硅半导体、绫路板、液晶显示器、计算器硬盘和集成电路芯片等工艺所需的去离子水;
2、制取电力行业发电锅炉和厂矿企业中、低压锅炉给水所需的水;
3、制取医药行业所需的医用大输液、药剂、注射剂、生化制品用去离子纯水、医用无菌水和人工肾透析用去离子纯水;
4、制取化工行业制造过程所需的工艺用去离子水;
5、制造纺织印染工艺所需的除硬度除盐用去离子水;
6、制取光学玻璃镀膜前清洗用去离子水、超纯水;
7、制取电镀工艺用去离子水、电池生产工艺用纯水以及汽车、家电、建材产品表面涂装和清洗用去离子水;
8、设备冷却循环用去离子水。
去离子水水质标准:
指标/级别
EW-I EW-II EW-III EW-IV
电阻率M Ω·cm(25℃) 18以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13 12 0.5
全硅,*大值, μg/L 2 10 50 1000
1 μm微粒数, *大值, 个/mL 0.1 5 10 500
细菌个数,*大值,个/mL 0.01 0.1 10 100
铜,*大值, μg/L 0.2 1 2 500
锌,*大值, μg/L 0.2 1 5 500
镍,*大值, μg/L 0.1 1 2 500
钠,*大值, μg/L 0.5 2 5 1000
钾,*大值, μg/L 0.5 2 5 500
氯,*大值, μg/L 1 1 10 1000
硝酸根,*大值, μg/L 1 1 5 500
磷酸根,*大值, μg/L 1 1 5 500
硫酸根,*大值, μg/L 1 1 5 500
总有机碳,*大值, μg/L 20 100 200 1000