电子行业超纯水设备

电子行业超纯水设备制水工艺：

1（双级反参透）加ED1（电脱盐）,核子级混床以及除TOC及紫外线出水指标一般均达到18MO-CM以上。

2.反参透（1级或2级反参透）加ED1（电脱盐），此工艺*大的优点是操作简单，无需树脂再生工艺，且出水指标一般均达到15MO-CM以上。

序号

流量（L/h）

*大电压（V/DC）

*大电流（A /DC）

1

100~150

30

3.0

2

500~600

40

3.5

3

1000~1100

50

3.5

4

2000~2100

60

3.5

5

3000~3100

80

3.5

6

4000~4100

100

3.5

7

5000~5100

120

3.5

电子行业超纯水设备技术特征：

※制取电子级超纯水

※可连续自动生产，不必停机再生

※出水水质优于常规离子交换法

※不需酸碱再生，不污染环境

※运行成本低，占地面积小

进水水质要求：

※铁离子：<

0.01mg/L

※游离氯：< 0.5mg/L

※硬度：< 1.0mg/L

※活性SiO2: <

0.5mg/L

※总有机碳：<

0.5mg/L

※PH：5.0-9.0

电子行业超纯水设备性能指标：

※出水电阻率：10-18MΩ.cm

※SiO2：<10

ppb

※Na+：<10 ppb

※脱盐率：>99.5%

※单台产水量：1-450

m3/h

电子行业超纯水设备应用范围：

※电力、石化及冶金行业的水处理除盐

※电子行业超纯水的制取

※医药行业超纯水的制取

电子行业（特别是微电子行业）纯水需求量大，其特点是水质要求较高.

电子行业超纯水设备主要应用于：

1.  

大规模集成电路元器件的生产用水，一般电阻率均大于18MO-CM。按国家有关用水标准（GB/T11446.1-1997）执行。

2.  

电子元件厂，在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同，其用水标准中（即GB/T11446.1-1997）有可为四级（一级*高电导率18MO-CM以上，二级电阻率不低于15MO-CM，3级电阻率12MO-CM,

4级为0.5MO-CM）.

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