供应外延炉尾气净化器

报价：20元/个
工程价: 暂无
所在地：江苏常州市
更新时间：2012-09-24 15:26:18
信息有效期：1年
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详情介绍

产品描述

随着国内半导体行业的蓬勃发展需要。Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气所产生的SiO₂粉尘在进气口的堵塞问题，曾被人们看作是对国内生产环保设备的工程设计人员的一大挑战。

我公司引进美国先进技术成功研发出了迄今更高效、更可靠、更低成本的Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺CRB型外延炉尾气净化器。

由于采用了本公司研制生产的先进进气技术和承插式活动进气套管，无需停机的清除粉尘装置，使该洗涤器的一次维护时间可以长达半年之久。这一优异性能带来了设备更长的正常运行时间、更高的产量、更优异的工艺稳定性和更高的安全性。CRB型外延炉尾气净化器，其产品技术指标达到国际同类产品先进水平，具有结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行噪音低、运行成本低、废气净化效率高、废气处理效果好、设备检修方便、维护停机时间短、设备正常运行时间长、工艺稳定性好、安全可靠等诸多特点。

本公司自主研制的CRB型外延炉尾气净化器，在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室，洗涤器所产生的负压由人工手动控制，补水系统由人工根据工艺情况调节。即使在*苛刻的Epi(磊晶)、Poly（多晶）、PECVD工艺条件下使用，经过洗涤器的HCl废气在洗涤器的排放口仍在1ppm以下，SiO₂粉尘去除率≥99.99％，水溶性气体的清除率高达99.99％。在本行业生产的洗涤器中，江苏超日净化设备有限公司缔造了净化效率*高、维护*方便，运行成本*低的奇迹。