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净化车间黄光膜产品介绍:黄光膜的功能作用及适用范围 黄光室是进行IC晶片微影成像术的区域,将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上,而后再放置于曝光机下进行曝光,以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像,*后再以药剂进行显影而得到实际图像。 早期曝光机的光源为全光谱光源,后演进到G-LINE(436 mm)光源,目前*为广泛使用的为I-LINE(436mm)光源,对于0.3ūm线宽以下的IC制程,则需采用深紫外线(deep UV)248mm光源,甚至X光或电子束,目前光源较采用高压水银(汞)弧灯,由于其特性频谱,所以须经过滤光片以获得所需的I-LINE(365mm)光线。
净化车间黄光膜用途:
阻隔紫外线:保护身体健康,防止家具褪色;
防眩光:阻挡太阳刺目的眩光,防止光污染,保护视力;
防爆防震:减少意外伤害,防盗防爆;
隔热保温:调节室内温度,从此告别空调“烧钱”的困扰;
装饰美观:美化建筑物的整体外观效果,改善室内环境;
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