陶瓷多弧离子镀膜设备：

我们在该镀膜设备的设计与加工方面已经成熟，已稳定在工具镀膜被覆处理多种超硬陶瓷薄膜包括氮化钛（Tin）、碳化钛（Tic）、氮碳化钛（TiCn）、氮化锆（Zrn）、氮化铬（Crn）、氮化铝钛（TiAln）等。经适当的薄膜加工后的工件，可以提高3至10倍的寿命。可以降低成本，提高生产效率，改善产品质量。广泛应用：工艺陶瓷，切削刀工具业：如硬质合金、钻头、铣刀等刃具。精密模具业：冲棒标准件模具、成型模具等。汽车工业：活塞、活塞环等易磨损零件。

型号 ：DH-800    DH-1000     DH-1250                                   

真空室尺寸：￠800×1000MM ￠1000×1000MM ￠1250×1100MM

镀膜方式及主要配置：八个多弧靶 十个多弧靶 十二个多弧源

镀膜方式及主要配置：电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源

工艺气体控制：质量流量计+电磁陶瓷阀

真空室结构：立式侧（单）开门结构，后置抽气系统，双层水冷

真空系统组成：分子泵+罗茨泵+机械泵（5.0×10-4PA），扩散泵+罗茨泵+机械泵（5.0×10-4PA）

工件烘烤温度：常温到350度可调可控(PID控温),辐射加热

工件运动方式：公自转变频调速,0~20转/分        

测量方式：数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA

控制方式：手动/自动/PC/PLC+HMI/PC四种方式可选

备注：以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做

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