龙岩瓦里安电厂检漏仪

性能指标                   PR02                       MR15&MD30

性能                       前级泵内置式               前级泵外置式及小车

前级泵        油式机械泵   DS-42 2 m³/hr (34 l/m)      DS-302 14 m³/hr (232 l/m)

涡卷式干泵                 N/A                        TS-620 30 m³/hr (500 l/m)

*小可检漏率在1000ppm的氦气背景下  5×10^-12 atm cc/sec； 5×10^-12 mbar l/s；5×10^-13 Pa m³/sec helium

测试口*高耐压             16 mbar，12 Torr，1600 Pa

测试口处对氦气抽速         1.8 l/s

响应时间                   ＜1.0秒

设定点                     标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

通讯协议                   RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）

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