一. 电子行业(特别是微电子行业)纯水需求量大,其特点是水质要求较高,电阻率一般大于15MO-CM以上。主要应用于:
1. 大规模集成电路元器件的生产用水,一般电阻率均大于18MO-CM。按国家有关用水标准(GB/T11446.1-1997)执行。
2. 电子元件厂,在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同,其用水标准中(即GB/T11446.1-1997)有可为四级(一级*高电导率18MO-CM以上,二级电阻率不低于15MO-CM,3级电阻率12MO-CM, 4级为0.5MO-CM).
二 . 制水工艺:
1. 一级反参透加混合离子交换柱,适用标准中的三级和四级。
2. 反参透加混合离子交换柱,再加一级精混(采用进口抛光树脂)适用于标准1级和2级出水指 标。
3. 目前有一种新的工艺:
即反参透(1级或2级反参透)加ED1(电脱盐),此工艺*大的优点是操作简单,无需树脂再生工艺,且出水指标一般均达到15MO-CM以上。