SW-6500D型多晶硅过程气体分析系统

SW-6500D型多晶硅过程气体分析系统

系统介绍

SW-6500D型多晶硅过程气体分析系统可连续监测工业硅提纯的三氯氢硅氢还原工艺中氢气的氧含量和微水含量以及在尾气管道保护气氮气的氧含量和微水含量，从而保证*后提炼超纯硅的品质。

系统特点

         取样探头为可插拔式探头，方便更换滤芯

         过滤器可过粉尘和硅粉，过滤精度为0.3μm

         大屏幕现场就地显示

         采用进口陶瓷阻抗式露点分析仪

技术参数

         型号：SW-6500D

         信号输出：4-20 mA输出

         响应时间：T90<30s

         工作温度：-20º~+60º

         电源：220 VAC

         防护等级：IP65

         系统部件：316L不锈钢

         防爆标准：符合EEx ia IIC T4

微量水分析仪：

         测量范围：+20~ -100℃

         精度：+20~-60℃ 露点范围内为±1º

-60~-100℃ 露点范围内为±2º

         工作压力：真空~40 MPa

         防爆标准：非现场显示型符合EEx ia IIC T4

氧含量分析仪：

         测量范围：0-25%（量程任选）

         精度：<1%FS

企业名片