指标
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特级去离子水
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一级去离子水
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二级去离子水
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三级去离子水
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电阻率 MΩ·cm(25℃)
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18
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10-15
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5-10
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0.2-1
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电导率μS/cm
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0.05
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0.06-0.1
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0.1-0.2
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1-5
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大于1μm微粒数,个/mL
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1
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5
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10
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100
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细菌个数,*大值,个/mL
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1
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5
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10
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50
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总有机碳含量,*大值μg/L
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50
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100
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200
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1000
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二氧化硅总含量,*大值μg/L
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2
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20
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50
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100
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氯含量,*大值μg/L
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0.5
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2
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10
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100
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铜含量,*大值μg/L
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0.2
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2
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5
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50
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钾含量,*大值μg/L
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0.5
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5
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10
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100
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钠含量,*大值μg/L
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0.5
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6
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10
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200
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锌含量,*大值μg/L
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0.2
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2
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10
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100
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铝含量,*大值μg/L
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0.5
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5
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10
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100
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铁含量,*大值μg/L
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0.5
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5
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10
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100
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钙含量,*大值μg/L
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0.5
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5
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10
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100
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