二级反渗透超纯水设备(UPW)制造设备
反渗透(膜分离)技术的应用使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器、混合 近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术,则是超纯水制造技术的一次革命,从此进入了一个无需再生化学品,而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水,用于半导体、集成电路等行业。国家经委也已将RO + EDI 成套技术的应用列入国家重点推广范围,对使用的企业给以政策上的优惠
二级反渗透设备
包括两级RO装置、清洗系统和中间水箱。
RO反渗透主要去除水中溶解盐类、有机物、二氧化硅胶体、大分子物质及预处理未去除的颗粒物等。采用两级RO工艺可有效去除水中离子,同时使出水满足后续EDI装置工艺进水要求。
反渗透系统由1台5μ过滤器、2台高压泵和压力容器及反渗透膜组成。**级反渗透装置RO按2∶1排列,采用6支8寸膜串联排列方式,产水量为 m3/h,回收率75%;第二级反渗透装置RO按1∶1排列,采用3支8寸膜串联排列方式,产水量为 m3/h,回收率85%。膜元件**级选择海德能公司低压复合膜CPA3,第二级选择海德能公司超低压复合膜ESPA2。(选用ESPA3膜)
为确保RO装置的稳定运行,在RO前设置了UV消毒器和阻垢剂加药系统。UV消毒器1台,处理量为17.6m3/h,主要作用是杀死水中的细菌,避免RO膜受到污堵。紫外灯发射波长为254 nm,强度为30000 μWs/cm2,杀菌率为99%。
为防止RO装置中浓水侧结垢,须在进水中投加阻垢剂,阻垢剂采用FLOCON260,设计投加量为2.4 mg/L。或采用PTP0100阻垢剂,设计投加量为1 mg/L。
为去除水中的CO2,在两级RO之间投加NaOH调节一级RO出水的pH值为7.83,NaOH的设计投加量为4.5 mg/L。
RO清洗系统为撬装设备,包括清洗箱、5 μm过滤器和清洗泵。当RO系统发生结垢或污堵时可对RO装置进行清洗,同时也可清洗EDI。
中间水箱的功能为储存RO产水、调节水量,使系统运行可以灵活调节。
两级RO系统产水的电导率<10 μs/cm,SiO2含量<500 μg/L,TOC<50 μg/L。