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扫描方式（根据样品或探针可选）
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测量头扫描范围
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80×80×3.5um（+/-10%）
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*小扫描步长
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0.009nm
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X,Y样品台移动范围
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5×5mm
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移动精度
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5um
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样品尺寸
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可达Φ100×10mm
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X,Y闭环控制平台
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X，Y范围
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100×100um
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固有非线形
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优于0.2%
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精度
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2nm
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重复性
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30nm（典型），小于全程0.2%
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*大承重
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2Kg
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照明激光器
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脉冲长度
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<50fs
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输出功率
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>100mW
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重复频率
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>80MHz
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波长范围
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740-950nm
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09年新品飞秒近场光学显微镜
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