电子级超纯水

电导率MΩ·cm(25℃)

10以上（95％时间）不低于17

可溶性SiO，μg/L

<2.0

偏硅酸，μg/L

<0.5

细菌总数（个/ml）

未检出

钠，μg/L

<0.5

钾，μg/L

<0.5

铜，μg/L

未检出

锌，μg/L

未检出

镍，μg/L

未检出

氯，μg/L

<1.0

总硬度，μg/L

未检出

硝酸盐，μg/L

<1.0

亚硝酸盐，μg/L

<2.0

磷酸盐，μg/L

<1.0

硫酸盐，μg/L

<1.0

总有机碳，μg/L

<100