ＺＦ－ＦＭＣ－１智能质量流量控制器

上海百思得电子有限公司，自行研发、批量生产的――智能质量流量控制器，精密测量，完美控制，控制精度±1%FS（恒流）。 MFC-1系列质量流量控制器是以气体的质量流量为计量基准的流量计。其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性，同时具有测量精度高，计量的起始流量小，流通阻力小，耐腐蚀性能好等特点。 ZF-MFC-1系列质量流量控制器不仅具有精度高、重复性好、并有很好的流量稳定作用 （0.15MPa ~0.6MPa输出值保持不变）可程序设定流量、手/自动软切换、数字调零、不同气体系数修正、直接数字设定流量、稳定可靠，操作方便，并可直接与上位机连接，由上位机实现设定、控制、记录等功能，同时可输出4~20mA信号，可供远程仪表连接。 技术参数： １、流量范围：0~100, 200, 300，500 SCCM（ml/min） 特殊规格另定 ２、准 确 度：±2%FS ３、控制精度：±1%FS（恒流） ４、线 性：±2%FS ５、工作压差范围:0.1~0.5Mpa ６、耐 压：1Mpa ７、编程功能：多段程序设定流量（可配置） ８、工作环境温度：-10~+~+50℃ ９、电源电压：DC15V/0.5A １０、控制方式：智能人工数显装置 １１、输出信号：4~20mA １２、计算机接口：RS485 １３、调零方式：数字调零 １４、设定流量方式：键入 １５、手/自动切换：无扰动 １６、外形尺寸：168×30×132mm １７、重 量：0.92Kg 适用范围： IC工业特种材料学科化学工业、石油工业、照明、医药、环保、真空、扩散、氧化、外延CVD、等离子刻蚀溅射 、离子注入镀膜设备、光纤、熔炼微反应装置、混汽配气系统、毛细管测量、气相色谱、热分析。 用户如有需求，请来电索取产品详尽文本。

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