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  VPS-020 VPS-050
標準配件 Dia.50mm Au1個(镀膜用)
Dia.50mm Al1個(刻蚀用)
Dia.100mm Au1個(镀膜用)
Dia.100mm Al1個(刻蚀用)
試料台 Dia.70mm Dia.100mm
(高度調節範囲 15mm、20mm、60mm)
チャンバー Dia.120mm、120mm(D)不锈钢制 Dia.240mm、240mm(D) 不锈钢制
油旋片泵 G-20DA型(20 L/min) G-100D型(100 L/min)オプション
高圧電源 1kV/0~20mA(带電流計、内置安全电路)
镀膜方式 AC/DC Sputtering
刻蚀方式 AC/DC Sputtering
时间 0~15min、連続可変
气体調整機構 针阀
所要電力 単相 100V 0.4kVA 単相 100V 0.5kVA
外型尺寸 160mm(W)×365mm(D)×317mm(H)
8.5kg
282mm(W)×485mm(D)×440mm(H)
20kg

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鑫有研电子科技(上海)有限公司

 

 

 

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