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更新时间:2008-01-16 17:50:37
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详情介绍
本系统为塑料或金属部件表面EMI薄膜沉积单机型专用设备,其利用等离子体对被镀工件表面进行活化,采用磁控溅射方法沉积薄膜,免除涂漆前处理工艺,大幅降低工件加工成本,整机达到国际同类产品水平.可广泛应用于手机、笔记本电脑、电话和DVD等电子产品外壳制造加工领域。
特点:单元技术先进、自动控制、运行可靠;单元化设计、维护简单;大装载量、短镀膜工艺节拍(周期);镀膜工艺成熟、适应基材广泛。
基本参数
真空室:(直径)900-1700mm,(长度)1200-1800mm
真空系统:机械泵,扩散泵,罗茨泵。
矩形离子源1套、直流磁控溅射阴极2套。
抽气周期:<15min
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