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洁净棚：采用工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架，风机滤网机组（FFU）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），其内部净化级别可达到100-10000级。适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。
特点
1、组装式结构设计，安装方便，交货周期短。
2、移动方便（可选用万向轮）。
3、模块化结构，容易提高净化级别，扩展性强，且重复利用价值高。
4、相对超净工作台内部有效空间大；相对传统无尘室，具有成本低、施工快、且对楼层高度要求低的优势。
规格及型号
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洁净度 |
洁净区域尺寸（feet） |
所用FFU数目 |
风量 （立方米/小时） |
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10/100级 |
4×4×7 |
2 |
2300 |
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4×8×7 |
4 |
4600 |
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6×8×7 |
6 |
6900 |
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6×12×7 |
9 |
10350 |
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6×16×7 |
12 |
13800 |
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10/100级 |
6×20×7 |
15 |
17250 |
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8×8×7 |
8 |
9200 |
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8×10×7 |
10 |
11500 |
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8×12×7 |
12 |
13800 |
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8×16×7 |
16 |
18400 |
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8×20×7 |
20 |
23000 |
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10×12×7 |
15 |
17250 |
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12×12×7 |
18 |
20700 |
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1000级 |
6×12×7 |
2 |
2300 |
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6×16×7 |
2 |
2300 |
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6×20×7 |
3 |
3450 |
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8×8×7 |
2 |
2300 |
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8×10×7 |
2 |
2300 |
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8×12×7 |
4 |
4600 |
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8×16×7 |
4 |
4600 |
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8×20×7 |
4 |
4600 |
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10×12×7 |
5 |
5750 |
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12×20×7 |
6 |
6900 |
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10000级 |
6×12×7 |
1 |
1150 |
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6×16×7 |
1 |
1150 |
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6×20×7 |
2 |
2300 |
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8×8×7 |
1 |
1150 |
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8×10×7 |
2 |
2300 |
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8×12×7 |
2 |
2300 |
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