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  • 硅片超声波清洗机清洗设备

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联系人:刘先生
邮箱:atw1999@163.com  

超声波清洗设备网址:http://www.jscsbo.com

 

本设备为浸泡式清洗机,用于扩散、外延等设备的石英管,碳化硅管的清洗

⑴整台设备采用进口磁白色聚丙板(PP)搭配进口焊接设备焊接而成。

⑵设备分为两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装

在隔离槽内,与底部和周围隔离。

⑶隔离槽底部倾斜式,*低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。

⑷清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。

(5)内设照明装置。

特征:

1.全自动PLC控制,可设触摸屏操作面板。

2.自动,手动互换操作功能,可储存多套工艺程序。

3.温度数字显示控制指示器。

4.故障自动报警及诊断功能。

5.多臂式位移组合机械手。

6.清洗槽四面溢水,高精度循环过滤装置,液位保护控制。

7.全封闭顶部排风系统。

8.步进或伺服电机,气动提送,精准可靠。

9.超声波频率:25KHZ,28KHZ,40KHZ,68KHZ

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苏州阿特万超声波设备有限公司

 

 

 

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