臭氧氧化法脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。该脱硝系统在不同的 NOx 等污染物浓度和比例下，可以同时高效率脱除烟气中的 NOx、二氧化硫和颗粒物等污染物，同时还不影响其他污染物控制技术，是传统脱硝技术的一个高效补充或替代技术。 按照 O3 对于 NOx 复杂的氧化反应过程，实际上最后通过 N 的价态变化体现出来， 主要的反应如下： 2NO + 3O3 = N2O5 + 3O2 2N02 + O3 = N2 O5 + O2 NO + O3 = N O2+ O2